Разработка научных основ и технологии получения высокоомных прозрачных твердых износостойких защитных покрытий на основе алмазоподобных пленок гидрогенизированного аморфного углерода
Разработка научных основ и технологии получения высокоомных прозрачных твердых износостойких защитных покрытий на основе алмазоподобных пленок гидрогенизир ованного аморфного углерода. Целью работы является отработка технологии получения однородных прозрачных твердых защитных покрытий на основе алмазоподобных пленок аморфного гидрогенизированного углерода с применением различных технологических методов и изучение их свойcтв. Для достижения поставленной цели применяли методы ионно-плазменного, а также магнетронного распыления графитовой мишени на постоянном токе в аргон-гексановой атмосфере. В ходе выполнения проекта установлены оптимальные режимы получения тонких слоев и зависимости структурных модификаций от параметров, характеризующих процесс синтеза. Разработана методика получения однородных пленок аморфного алмазоподобного углерода ионно-плазменным распылением графитовой мишени в аргон-гексановой смеси. Исследована структура ближнего порядка пленок а-С:Н с помощью дифрак...